Tarcza do rozpylania tytanu stosowana w przemyśle półprzewodnikowym
Tarcze do napylania tytanowego są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodnikowym do osadzania cienkich warstw na płytkach krzemowych.Cienkie warstwy są wykorzystywane do produkcji urządzeń mikroelektronicznych, takich jak tranzystory, diody i układy scalone.Oto kilka konkretnych sposobówtarcze do rozpylania tytanusą stosowane w przemyśle półprzewodnikowym:
Elektrody bramki: Tarcze napylające z tytanu są używane do osadzania cienkich warstw tytanu na płytkach krzemowych w celu wytworzenia elektrod bramkowych w tranzystorach polowych typu metal-tlenek-półprzewodnik (MOSFET).Te elektrody bramkowe służą do sterowania przepływem prądu elektrycznego w tranzystorach MOSFET.
Interkonekty: Tytanowe tarcze rozpylające służą do osadzania cienkich warstw tytanu na płytkach krzemowych w celu tworzenia połączeń w układach scalonych.Połączenia te służą do łączenia różnych elementów układów scalonych i są niezbędne do ich działania.
Bariery dyfuzyjne: Tytanowe tarcze napylające służą do osadzania cienkich warstw azotku tytanu (TiN) na płytkach krzemowych w celu stworzenia barier dyfuzyjnych w układach scalonych.Te bariery dyfuzyjne służą do zapobiegania dyfuzji metali do krzemu, co może spowodować pogorszenie wydajności i awarię układów scalonych.
Wytraw maski: Cele napylania tytanowego są używane do osadzania cienkich warstw tytanu na płytkach krzemowych w celu utworzenia masek wytrawiających.Te maski wytrawiające służą do ochrony określonych obszarów płytek krzemowych podczas procesu wytrawiania, który służy do tworzenia określonych wzorów i cech w układach scalonych.
W podsumowaniu,tarcze do rozpylania tytanusą niezbędnymi materiałami w przemyśle półprzewodnikowym i są wykorzystywane w szerokim zakresie zastosowań, w tym w elektrodach bramkowych, interkonektach, barierach dyfuzyjnych i maskach trawiących.